净化车间外观检查应符合：各种空气净化设备、静压箱要清洗干净，确保无尘；各种调节装置应严密、灵活、操作方便；各种管道、自动灭火装置及空气净化设备的安装应正确、严密、牢固；初、中、空气过滤器与支撑框架的连接以及风管与设备的连接处应可靠封闭；净化车间内的各种刷涂、保温工程等应符合有关规定；净化车间的内墙壁、顶棚表面、地面应平整、光滑、不起灰尘、色泽均匀等；送、回风口及各类末端装置、管道、动力线配管、照明等穿越净化车间时，穿越处的密封处理应严密可靠。
净化设备可使用油雾分离器，油雾净化器，油雾处理器，油雾收集器，油雾过滤器、袋式除尘器、无尘工作台、初效/中/过滤器、过滤器、水蒸发空调机、水温空调等。大致的工作原理为：当控制器接通电源时，油雾分离器口产生强大的静压迫使油雾被定向吸入油雾分离器内。在油雾分离器内风轮的作用下发生碰撞，使微小的颗粒集合成能被控制的小颗粒，在吸雾材料的阻挡下实现空气与水的分离。
应用领域 微电子、光电子、电子材料、仪器仪表、精密机械、制药及生物工程、饮料、食品、 化妆品、医疗卫生(洁净手术室及实验室);航空、印刷包装、航天及军事科学等。
一般以工业铝材(不锈钢方通、喷塑方通)做框架，采用风机滤网机组FFU送风，四周采用防静电垂帘，顶部铺盖密缝盲板，形成一个密缝区，内部净化级别可达100---10万级;特别适用于车间内局部对洁净度要求高的区域，如流水线作业区的高度产品组装区。