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如何使用吸附工艺技术处理半导体废气

2023-10-09 04:59:01  283次浏览 次浏览
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如何使用吸附工艺技术处理半导体废气?

吸附是利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,使其中所含的一种或多种组分吸附于固体表面上,达到分离的目的。吸附剂选择性高,能分开其他过程难以分开的混合物,有效地清除(或回收)浓度很低的有害物质,净化效率高,设备简单,操作方便,且能实现自动控制。

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