空气净化技术是电子厂净化车间的核心。其中，主要的净化技术包括过滤、静电除尘、化学吸附等。过滤器可以有效地过滤空气中的微粒，将空气中的尘埃、等颗粒物截留下来。
静电除尘技术则可以通过静电作用将空气中带电粒子去除，进一步提高空气质量。化学吸附技术则可以去除空气中的有害气体，例如甲醛、苯等有机物。这些技术的综合应用，可以确保车间内的空气干净、清洁，符合生产要求。
电子工厂净化厂房特点
>电子产品生产发展迅猛
IC特征尺寸0.05u m,12" ～16" ，64G
TFT第六代产品
对化学污染物的严格要求
大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房
投资大、能量消耗大
微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径ISO1级或更严格。
高纯物质，包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输送。
对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定
对防静电、电磁兼容等
大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万㎡